一種晶圓載臺垂直和水平位置的調(diào)節(jié)裝置及其調(diào)節(jié)方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110622499.X 申請日 -
公開（公告）號 CN113488428A 公開（公告）日 2021-10-08
申請公布號 CN113488428A 申請公布日 2021-10-08
分類號 H01L21/687（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 鄭亞新 申請（專利權(quán)）人 拓荊科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 沈陽維特專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 甄玉荃
地址 110179遼寧省沈陽市渾南區(qū)水家900號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種晶圓載臺垂直和水平位置的調(diào)節(jié)裝置及其調(diào)節(jié)方法，包括：晶圓載臺、螺絲旋鈕、伺服電機(jī)、晶圓載臺固定組件和晶圓載臺調(diào)節(jié)可動組件；其中，晶圓載臺與晶圓載臺固定組件相連，螺絲旋鈕穿過晶圓載臺調(diào)節(jié)可動組件與晶圓載臺固定組件相接觸，螺絲旋鈕旋轉(zhuǎn)使晶圓載臺固定組件上升或下降。本發(fā)明結(jié)構(gòu)節(jié)簡單、操作方便、安全可靠，通過伺服電機(jī)控制晶圓載臺垂直和水平角度位置，可滿足調(diào)整極板間距及位置角度可調(diào)，避免了人工通過旋轉(zhuǎn)螺絲調(diào)整帶來的誤差，提高設(shè)備利用率，便于工藝開發(fā)；調(diào)節(jié)過程中，晶圓載臺垂直及水平位置可調(diào)，進(jìn)而控制晶圓在真空腔室位置姿態(tài)。