一種真空內(nèi)電加熱噴淋頭結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110403470.2 申請日 -
公開（公告）號 CN113249687A 公開（公告）日 2021-08-13
申請公布號 CN113249687A 申請公布日 2021-08-13
分類號 C23C14/22（2006.01）I;C23C16/455（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 劉春;談太德 申請（專利權(quán)）人 拓荊科技股份有限公司
代理機構(gòu) 沈陽維特專利商標事務(wù)所（普通合伙） 代理人 李娜
地址 110179遼寧省沈陽市渾南區(qū)水家900號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于真空鍍膜設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體提供了一種真空內(nèi)電加熱噴淋頭結(jié)構(gòu)，包括噴淋頂板，所述的噴淋頂板內(nèi)設(shè)有可供介質(zhì)循環(huán)的通道；所述的噴淋頂板上設(shè)有噴淋氣體入口；噴淋頂板與腔體外殼連接處設(shè)有一圈密封條；噴淋板，與噴淋頂板連接且具有凹進部，上設(shè)有多個噴淋通孔。加熱環(huán)，設(shè)置在噴淋板與噴淋頂板連接處，設(shè)置方式包括嵌入設(shè)置在噴淋板內(nèi)；阻熱環(huán)，設(shè)置在加熱環(huán)與噴淋頂板之間，與噴淋頂板連接?？蓪崿F(xiàn)真空腔體內(nèi)對噴淋板的高溫加熱，通過結(jié)構(gòu)優(yōu)化調(diào)整熱阻后噴淋板溫度可達到300℃，同時減少通過噴淋頂板對外部的熱損失，保障了其溫度波動≤±5℃。同時保障外部大氣側(cè)空間溫度符合生產(chǎn)規(guī)范。