一種可用于機(jī)械手傳輸?shù)耐斜P

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110393606.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113235072A 公開（公告）日 2021-08-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN113235072A 申請(qǐng)公布日 2021-08-10
分類號(hào) C23C16/458（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 談太德;褚鑫輝 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 拓荊科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 沈陽維特專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 李娜
地址 110179遼寧省沈陽市渾南區(qū)水家900號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于薄膜沉積設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體提供了一種可用于機(jī)械手傳輸?shù)耐斜P，該托盤具有第一托起部、第二托起部及支撐部，所述兩個(gè)托起部固定連接。第一托起部與第二托起部上分別凹進(jìn)設(shè)有溝槽空間，兩個(gè)托起部的溝槽空間對(duì)應(yīng)匹配形成一可放置支撐部的容置空間；所述支撐部的彈性變量小于兩個(gè)托起部。本技術(shù)方案通過以高強(qiáng)度、熱變形小的材料作為托盤骨骼，可以限制、減少高溫時(shí)整個(gè)鋁托盤的彈性變形以及塑性變形，延長了鋁托盤的使用壽命，增加了工藝的穩(wěn)定性。