一種高速鋼自潤滑涂層前處理設(shè)備及其使用方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910658794.3 申請日 -
公開（公告）號 CN110306151A 公開（公告）日 2019-10-08
申請公布號 CN110306151A 申請公布日 2019-10-08
分類號 C23C8/38;C23C8/02 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 黃仕江;蔣源;袁明 申請（專利權(quán)）人 上海妙殼新材料科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 201311 上海市浦東新區(qū)大團鎮(zhèn)東大公路2458號1幢5600室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種高速鋼自潤滑涂層前處理設(shè)備，所述真空腔體的內(nèi)腔左右插接有向下伸出的位于工裝臺左右兩側(cè)的兩個燈絲電極，兩個燈絲電極的下端之間通過燈絲電源連接，且兩個燈絲電極的上端之間通過燈絲連接，所述真空腔體內(nèi)設(shè)置有反應(yīng)氣體，所述基體連接位于真空腔體外側(cè)的脈沖偏壓電源，且燈絲電極的一側(cè)設(shè)置有冷卻水管。且使用方法，包括以下步驟：S1抽真空、S2熱絲加熱還原處理、S3熱絲等離子蝕刻和S4熱絲等離子氮化。本發(fā)明采用燈絲等離子體加熱還原，清洗和表面氮化為一體的處理方式，極大增加表面的硬度和涂層結(jié)合力，其過程是連續(xù)的，不影響涂層的生產(chǎn)周期，同時不產(chǎn)生傳統(tǒng)氮化處理的白亮層。