微型復(fù)雜件的多面檢測(cè)方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710859950.3 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN107860310B 公開(公告)日 2020-04-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN107860310B 申請(qǐng)公布日 2020-04-21
分類號(hào) G01B11/00 分類 測(cè)量;測(cè)試;
發(fā)明人 張柯;高萬順;張偉明 申請(qǐng)(專利權(quán))人 東莞華晶粉末冶金有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 東莞華晶粉末冶金有限公司;廣東勁勝智能集團(tuán)股份有限公司
地址 523000 廣東省東莞市東城街道牛山外經(jīng)工業(yè)園偉豐路2號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種微型復(fù)雜件的多面檢測(cè)方法,其包括以下步驟:將微型復(fù)雜件置于二次元測(cè)量平臺(tái)上;測(cè)量微型復(fù)雜件于二次元測(cè)量平臺(tái)的檢測(cè)面上的尺寸;對(duì)于微型復(fù)雜件的每一側(cè)面,將一個(gè)拼接長(zhǎng)方體置于微型復(fù)雜件的一側(cè)面旁并使拼接長(zhǎng)方體與微型復(fù)雜件相接觸;測(cè)量拼接長(zhǎng)方體對(duì)微型復(fù)雜件的該側(cè)面的反射投影于二次元測(cè)量平臺(tái)的檢測(cè)面上的尺寸;將兩個(gè)拼接長(zhǎng)方體對(duì)稱并排置于二次元測(cè)量平臺(tái)上,將微型復(fù)雜件置于其中一個(gè)拼接長(zhǎng)方體上,測(cè)量另一個(gè)拼接長(zhǎng)方體對(duì)微型復(fù)雜件的底面的反射投影于二次元測(cè)量平臺(tái)的檢測(cè)面上的尺寸。上述微型復(fù)雜件的多面檢測(cè)方法能夠精確測(cè)量微型復(fù)雜件的各個(gè)面的微結(jié)構(gòu),提升了測(cè)量效率。