一種采用光刻工藝在基材表面制作CD紋的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201611094709.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN106444278A 公開(kāi)（公告）日 2017-02-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN106444278A 申請(qǐng)公布日 2017-02-22
分類號(hào) G03F7/00(2006.01)I;G03F7/16(2006.01)I;G03F7/30(2006.01)I;G03F1/42(2012.01)I;G03F7/40(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I;G03F7/32(2006.01)I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 趙博;王滋峰;高長(zhǎng)有 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 南京京晶光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京思創(chuàng)大成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 南京京晶光電科技有限公司
地址 210038 江蘇省南京市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)恒飛路8號(hào)科創(chuàng)基地306室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種采用光刻工藝在基材表面制作CD紋的方法，包括如下步驟：1)制作掩膜版；2)涂布光刻膠、烘烤；3)曝光、烘烤；4)顯影、烘烤。所述方法提供一種效率高、精度高且適用范圍廣的采用光刻在基材表面制作出CD紋的方法。