一種采用刻蝕工藝在基材表面加工CD紋的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610178182.0 申請日 -
公開（公告）號 CN105676589A 公開（公告）日 2016-06-15
申請公布號 CN105676589A 申請公布日 2016-06-15
分類號 G03F7/00(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 沈厚軍;趙博;李建勳;鄭松森 申請（專利權(quán)）人 南京京晶光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州市方略專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 南京京晶光電科技有限公司
地址 210038 江蘇省南京市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)恒飛路8號科創(chuàng)基地306室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種采用刻蝕工藝在基材表面加工CD紋的方法，包括如下步驟：1)制作掩膜版；2)涂布光阻薄膜、烘烤；3)曝光、烘烤；4)顯影、烘烤；5)刻蝕。所述方法提供一種效率高、精度高且適用范圍廣的采用干法或濕法刻蝕在基材表面加工出CD紋的方法。