一種藍(lán)寶石納米壓晶片不良品潔凈清洗系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201621159177.7 申請日 -
公開（公告）號 CN206332010U 公開（公告）日 2017-07-14
申請公布號 CN206332010U 申請公布日 2017-07-14
分類號 H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 鄭松森;沈厚軍;唐寧;周超鋒 申請（專利權(quán)）人 南京京晶光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京思創(chuàng)大成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 南京京晶光電科技有限公司;江蘇京晶光電科技有限公司
地址 210038 江蘇省南京市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)恒廣路58號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種藍(lán)寶石納米壓晶片不良品潔凈清洗系統(tǒng)，它包括晶片浸泡裝置、藥液補(bǔ)給裝置、刷片旋干裝置、傳片系統(tǒng)、下片裝置和控制器，所述的晶片浸泡裝置、刷片旋干裝置和下片裝置依次設(shè)置，所述藥液補(bǔ)給裝置通過管路與晶片浸泡裝置連接，由藥液補(bǔ)給泵將藥液補(bǔ)給到晶片浸泡裝置中，所述傳片系統(tǒng)布置于晶片浸泡裝置、刷片旋干裝置和下片裝置之間，用于將晶片由晶片浸泡裝置中取出運(yùn)送到刷片旋干裝置中作業(yè)，完成后將晶片運(yùn)送到下片裝置。本實(shí)用新型通過藥液浸泡及刷片旋干，可以使晶片清洗的潔凈度得到有效高，在后續(xù)的加工中產(chǎn)品質(zhì)量更好、不會產(chǎn)生脫膠現(xiàn)象。