一種在藍(lán)寶石表面制作CD紋的加工系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201620241380.2 申請日 -
公開（公告）號 CN205581517U 公開（公告）日 2016-09-14
申請公布號 CN205581517U 申請公布日 2016-09-14
分類號 G03F7/20(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 沈厚軍;趙博;李建勳;鄭松森 申請（專利權(quán)）人 南京京晶光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州市方略專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 南京京晶光電科技有限公司;江蘇京晶光電科技有限公司
地址 210038 江蘇省南京市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)恒飛路8號科創(chuàng)基地306室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種在藍(lán)寶石表面制作CD紋的加工系統(tǒng)，所述加工系統(tǒng)包括：一旋涂式勻膠機(jī)；一步進(jìn)式光刻機(jī)，包括：并列間隔排布的控制單元和曝光單元；一顯影機(jī)；一等離子體干法刻蝕機(jī)。所述加工系統(tǒng)得到的CD紋材質(zhì)為藍(lán)寶石，屬于在藍(lán)寶石表面精加工出CD紋，所形成的CD紋不脫落，不易劃傷。