一種光刻機對準標記制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110038886.9 申請日 -
公開（公告）號 CN112666806A 公開（公告）日 2021-04-16
申請公布號 CN112666806A 申請公布日 2021-04-16
分類號 G03F9/00;H01L21/67;H01L27/146 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 方小磊;陳濤;劉耀聰;張凱;蔡雨杉;李天成 申請（專利權）人 長春長光圓辰微電子技術有限公司
代理機構 長春中科長光知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 高一明;郭婷
地址 130000 吉林省長春市經(jīng)開區(qū)營口路18號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導體芯片加工制造領域。本發(fā)明提供一種背照式圖像傳感器的光刻機對準標記制作方法，在鍵合前的兩片晶圓上通過任意光刻機分別制作紅外對準標記；在鍵合、減薄后，通過紅外光刻機找到存在于兩片晶圓中的紅外對準標記，利用此紅外對準標記在減薄后的晶圓表面制作專用光刻機標記。通過制作紅外光刻機對準標記，實現(xiàn)了背照式圖像傳感器在鍵合、減薄后的精確對準，從而可以在減薄后的晶圓上直接制作后層對準標記，進而后續(xù)結構的對準和光刻可以使用任意一種光刻機完成。