一種不同尺寸異質(zhì)材料混合集成的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910809444.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN110517955B 公開(kāi)（公告）日 2021-05-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN110517955B 申請(qǐng)公布日 2021-05-14
分類號(hào) H01L21/18 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 程禹;李彥慶;趙東旭;陳艷明;方小磊;劉佳 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 長(zhǎng)春長(zhǎng)光圓辰微電子技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 長(zhǎng)春市吉利專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 李曉莉
地址 130033 吉林省長(zhǎng)春市經(jīng)開(kāi)區(qū)營(yíng)口路18號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種不同尺寸異質(zhì)材料混合集成的方法，屬于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，該方法通過(guò)使用模具完成2英寸晶圓與8英寸晶圓的鍵合，同時(shí)利用機(jī)械對(duì)準(zhǔn)方式與光學(xué)對(duì)準(zhǔn)方式相結(jié)合，完成兩次鍵合工藝，在鍵合工藝之間使用8英寸生產(chǎn)機(jī)臺(tái)進(jìn)行光刻等工藝，實(shí)現(xiàn)不同尺寸異質(zhì)材料的混合集成，并可以保證對(duì)準(zhǔn)精度。