一種多晶硅設(shè)備的化學(xué)絡(luò)合清洗方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201510715726.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN105256320A 公開（公告）日 2018-04-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN105256320A 申請(qǐng)公布日 2018-04-27
分類號(hào) C23G1/08;C23C22/62 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 劉輝 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 長安銀行股份有限公司咸陽人民東路支行
代理機(jī)構(gòu) 西安智大知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 代理人 劉國智
地址 712000 陜西省咸陽市迎賓大道李家寨北側(cè)66號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種多晶硅儲(chǔ)罐類設(shè)備清洗裝置，絡(luò)合化學(xué)清洗及設(shè)備清洗工藝是對(duì)傳統(tǒng)“酸堿清洗”的一項(xiàng)綠色新技術(shù)革命；其采用的無毒無味，不揮發(fā)，排放無污染環(huán)境的絡(luò)合劑進(jìn)行清洗，完全解決了多晶硅清洗中的各種難題，避免了酸洗對(duì)設(shè)備材質(zhì)的腐蝕損傷。本發(fā)明能夠采用浸泡式循環(huán)流水線作業(yè)，使多晶硅設(shè)備的管道清洗產(chǎn)能提高3-5倍，能大大縮短多晶硅設(shè)備清洗的時(shí)間。