一種多晶硅設(shè)備的化學(xué)絡(luò)合清洗方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510715726.8 申請日 -
公開（公告）號 CN105256320B 公開（公告）日 2018-04-27
申請公布號 CN105256320B 申請公布日 2018-04-27
分類號 C23G1/08;C23C22/62 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 劉輝 申請（專利權(quán)）人 長安銀行股份有限公司咸陽人民東路支行
代理機構(gòu) 西安智大知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 代理人 陜西莊臣環(huán)保科技有限公司
地址 712000 陜西省咸陽市迎賓大道李家寨北側(cè)66號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種多晶硅儲罐類設(shè)備清洗裝置，絡(luò)合化學(xué)清洗及設(shè)備清洗工藝是對傳統(tǒng)“酸堿清洗”的一項綠色新技術(shù)革命；其采用的無毒無味，不揮發(fā)，排放無污染環(huán)境的絡(luò)合劑進行清洗，完全解決了多晶硅清洗中的各種難題，避免了酸洗對設(shè)備材質(zhì)的腐蝕損傷。本發(fā)明能夠采用浸泡式循環(huán)流水線作業(yè)，使多晶硅設(shè)備的管道清洗產(chǎn)能提高3?5倍，能大大縮短多晶硅設(shè)備清洗的時間。