一種多晶硅管道類設(shè)備清洗裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201520627229.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN205008326U 公開（公告）日 2016-02-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN205008326U 申請(qǐng)公布日 2016-02-03
分類號(hào) B08B9/02(2006.01)I 分類 清潔;
發(fā)明人 劉輝;李頻 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 長(zhǎng)安銀行股份有限公司咸陽(yáng)人民東路支行
代理機(jī)構(gòu) 陜西增瑞律師事務(wù)所 代理人 陜西莊臣環(huán)?？萍加邢薰?/td>
地址 712000 陜西省咸陽(yáng)市迎賓大道李家寨北側(cè)66號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種多晶硅管道類設(shè)備清洗裝置，包括通過循環(huán)泵與加熱循環(huán)槽相連接的浸泡池，管道類設(shè)備浸泡在浸泡池中的清洗液中，管道類設(shè)備的一端還通過管道與浸泡池清洗液進(jìn)入口相連接，另一端通過管道與浸泡池清洗液排出口相連接。本實(shí)用新型能夠?qū)崿F(xiàn)管道類設(shè)備的浸泡式循環(huán)流水線作業(yè)，實(shí)現(xiàn)包括管內(nèi)壁、外壁全方位的清洗，使多晶硅設(shè)備的管道清洗產(chǎn)能提高3-5倍，能大大縮短多晶硅設(shè)備清洗的時(shí)間。