一種微小壓力光學(xué)測量方法與校準(zhǔn)裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202111349631.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN114112172A | 公開（公告）日 | 2022-03-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114112172A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-03-01 |
| 分類號(hào) | G01L11/02（2006.01）I;G01L27/00（2006.01）I | 分類 | 測量；測試; |
| 發(fā)明人 | 謝興娟;楊軍;李博;田森 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 中國航空工業(yè)集團(tuán)公司北京長城計(jì)量測試技術(shù)研究所 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京正陽理工知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 王松 |
| 地址 | 100095北京市海淀區(qū)溫泉鎮(zhèn)環(huán)山村 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開的一種微小壓力光學(xué)測量方法與校準(zhǔn)裝置，屬于計(jì)量測試技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明主要由振動(dòng)臺(tái)、活塞、變?nèi)莘e機(jī)構(gòu)、壓力測試腔、激光干涉測量系統(tǒng)和控制系統(tǒng)組成。壓力測試腔與變?nèi)莘e機(jī)構(gòu)連接，振動(dòng)臺(tái)與活塞桿連接，活塞桿深入變?nèi)莘e機(jī)構(gòu)內(nèi)，振動(dòng)臺(tái)運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)變?nèi)莘e機(jī)構(gòu)使其內(nèi)壓力腔容積變化，同時(shí)帶動(dòng)壓力測試腔內(nèi)的壓力產(chǎn)生變化。利用激光干涉光學(xué)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)微小壓力的高精度溯源，其中壓力測試腔內(nèi)有多個(gè)高反射面，通過對(duì)入射光的多次反射，增加腔內(nèi)激光傳輸路徑，在小尺寸壓力腔內(nèi)增大測量光程，解決腔長尺寸和壓力穩(wěn)定性、動(dòng)態(tài)響應(yīng)之間的矛盾，提高壓力測量的靈敏度和精度，能夠?qū)崿F(xiàn)針對(duì)微小靜態(tài)或動(dòng)態(tài)壓力的精確測量和校準(zhǔn)。 |
