一種高致密超細晶大尺寸鉬靶材的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910187697.0 申請日 -
公開（公告）號 CN109778126A 公開（公告）日 2021-06-01
申請公布號 CN109778126A 申請公布日 2021-06-01
分類號 C23C14/34;B22F5/00 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 闞金鋒;鐘銘;楊義兵;李旺;李陽;董建英;王廣達 申請（專利權(quán)）人 安泰天龍（天津）鎢鉬科技有限公司
代理機構(gòu) 北京五洲洋和知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 劉春成;榮紅穎
地址 301800 天津市寶坻區(qū)節(jié)能環(huán)保工業(yè)區(qū)寶中道10號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種高致密超細晶大尺寸鉬靶材的制備方法，通過冷等靜壓壓型?燒結(jié)?熱等靜壓壓型?熱軋制?退火?機加工的工藝流程來制備鉬靶材，鉬靶材先通過熱等靜壓處理后，對鉬靶材坯料進行了第一次致密化處理，然后將該坯料進行熱軋?zhí)幚恚瑢︺f靶材坯料進行了第二次致密化處理，最后經(jīng)過950?1100℃，保溫60?90min的退火處理及機械加工等工序獲得所需性能的鉬靶材。本發(fā)明的制備方法能夠制作出高純度（純度達到99.9％以上））、全致密（密度達到99.9％以上）、超細晶（晶粒度小于20μm）的鉬靶材，可滿足要求越來越高的濺射工藝，提高薄膜濺射速度，改善鉬金屬濺射薄膜的質(zhì)量，提高薄膜性能。