一種高致密超細(xì)晶大尺寸鉬靶材的制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910187697.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN109778126B | 公開（公告）日 | 2021-06-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN109778126B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-06-01 |
| 分類號(hào) | C23C14/34（2006.01）I;B22F5/00（2006.01）I | 分類 | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 闞金鋒;鐘銘;楊義兵;李旺;李陽;董建英;王廣達(dá) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 安泰天龍（天津）鎢鉬科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京五洲洋和知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 劉春成;榮紅穎 |
| 地址 | 301800天津市寶坻區(qū)節(jié)能環(huán)保工業(yè)區(qū)寶中道10號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種高致密超細(xì)晶大尺寸鉬靶材的制備方法，通過冷等靜壓壓型?燒結(jié)?熱等靜壓壓型?熱軋制?退火?機(jī)加工的工藝流程來制備鉬靶材，鉬靶材先通過熱等靜壓處理后，對(duì)鉬靶材坯料進(jìn)行了第一次致密化處理，然后將該坯料進(jìn)行熱軋?zhí)幚?，?duì)鉬靶材坯料進(jìn)行了第二次致密化處理，最后經(jīng)過950?1100℃，保溫60?90min的退火處理及機(jī)械加工等工序獲得所需性能的鉬靶材。本發(fā)明的制備方法能夠制作出高純度(純度達(dá)到99.9％以上))、全致密(密度達(dá)到99.9％以上)、超細(xì)晶(晶粒度小于20μm)的鉬靶材，可滿足要求越來越高的濺射工藝，提高薄膜濺射速度，改善鉬金屬濺射薄膜的質(zhì)量，提高薄膜性能。?? |
