一種提高太陽電池擴散均勻性的裝置及其方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510911534.4 申請日 -
公開（公告）號 CN105551948B 公開（公告）日 2018-05-15
申請公布號 CN105551948B 申請公布日 2018-05-15
分類號 H01L21/223;H01L31/18 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 郝杰杰;劉仁中;張斌 申請（專利權(quán)）人 合肥海潤光伏科技有限公司
代理機構(gòu) 南京蘇高專利商標事務所（普通合伙） 代理人 合肥海潤光伏科技有限公司
地址 230000 安徽省合肥市新站綜合開發(fā)實驗區(qū)大禹路1288號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種提高太陽電池擴散均勻性的裝置及其方法，它包括：進氣管、排氣管、流量監(jiān)控表和開孔，所述的進氣管位于石英舟的下方，進氣管的兩端分別為開口端和封閉端，進氣管的開口端上設有流量監(jiān)控表，進氣管上設有的開孔面對擴散石英管的底部，進氣管的封閉端置于擴散石英管內(nèi)，排氣管位于硅片的上方,提高石英管內(nèi)氣體氛圍的均勻性，提高了電池片片間及片內(nèi)擴散均勻性。使得后續(xù)工藝參數(shù)可控性高，可以較好的保證電池性能和參數(shù)的穩(wěn)定性。蓋方法提高石英管內(nèi)氣體氛圍的均勻性，提高了電池片片間及片內(nèi)擴散均勻性。使得后續(xù)工藝參數(shù)可控性高，可以較好的保證電池性能和參數(shù)的穩(wěn)定性。