一種半導體芯片粘結蠟清洗劑及其制備和使用方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011351288.9 申請日 -
公開（公告）號 CN112481042A 公開（公告）日 2021-03-12
申請公布號 CN112481042A 申請公布日 2021-03-12
分類號 C11D1/74(2006.01)I;C11D3/44(2006.01)I;C11D1/72(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;C11D1/66(2006.01)I;C11D3/18(2006.01)I;C11D1/825(2006.01)I;C11D11/00(2006.01)I;C11D3/50(2006.01)I;C11D3/20(2006.01)I 分類 動物或植物油、脂、脂肪物質或蠟；由此制取的脂肪酸；洗滌劑；蠟燭;
發(fā)明人 楊同勇;李文瀚;李磊;王堃;劉翠琴 申請（專利權）人 三達奧克化學股份有限公司
代理機構 大連智高專利事務所（特殊普通合伙） 代理人 張欽
地址 116051遼寧省大連市高新技術產業(yè)園區(qū)龍頭分園慶龍街51號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于半導體芯片制造領域，公開了一種半導體芯片粘結蠟清洗劑及其制備和使用方法。按質量百分比包括下列組分：碳氫溶劑：0％?30％；醇醚溶劑：余量；清洗增效劑：0.5?5％；氣味調節(jié)劑：0.05?0.5％；本發(fā)明的目的是針對半導體芯片特殊結構上粘結蠟清洗不徹底，且工藝復雜及安全隱患大的不足，提供一種半導體芯片粘結蠟清洗劑及其制備和使用方法，進而解決現有技術存在的缺點和不足。??