一種連續(xù)相位板加工誤差識別方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410115199.2 申請日 -
公開（公告）號 CN103886600B 公開（公告）日 2017-01-25
申請公布號 CN103886600B 申請公布日 2017-01-25
分類號 G06T7/00(2006.01)I 分類 計(jì)算；推算；計(jì)數(shù);
發(fā)明人 溫圣林;顏浩;張遠(yuǎn)航;侯晶;唐才學(xué);石琦凱;楊春林 申請（專利權(quán)）人 四川睿光科技有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 北京遠(yuǎn)大卓悅知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 史霞
地址 621000 四川省綿陽市科學(xué)城綿山路64號（科學(xué)城八區(qū)十二所系統(tǒng)樓302號）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種連續(xù)相位板加工誤差識別方法，屬相位板加工誤差識別領(lǐng)域，本發(fā)明采用二次匹配，先對被測面形和參考面形進(jìn)行第一次匹配，得到粗定位的平移位置坐標(biāo)，然后在根據(jù)平移位置坐標(biāo)設(shè)定的鄰域范圍內(nèi)對被測面形和參考面形進(jìn)行第二次匹配，縮小誤差范圍，得到精確定位位置參數(shù)，并根據(jù)精確定位位置函數(shù)得到加工誤差指標(biāo)，本方法改變一次匹配難以對高精度要求的CPP進(jìn)行誤差識別的缺陷，采用逐步遞進(jìn)精度逐步提高的二次匹配方法提高CPP誤差識別的精度，本發(fā)明所提供的方法誤差識別的RMS值可達(dá)30nm以下，PV值可達(dá)1波長以下。