一種具有恢復(fù)特性的復(fù)合二極管結(jié)構(gòu)及其制造方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910725843.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN110518013B 公開（公告）日 2021-08-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN110518013B 申請(qǐng)公布日 2021-08-10
分類號(hào) H01L27/07;H01L29/32;H01L21/82 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 饒祖剛;王民安;項(xiàng)建輝;鄭科峰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 黃山芯微電子股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蕪湖眾匯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 曹宏筠
地址 245000 安徽省黃山市祁門縣新興路449號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種具有超快恢復(fù)特性的復(fù)合二極管結(jié)構(gòu)及其制造方法，該二極管包括N+襯底，位于N+襯底背面的金屬化陰極和位于N+襯底正面的N型外延層；所述N型外延層上設(shè)置有一組向N型外延層內(nèi)延伸的P區(qū)，所述P區(qū)在硅片有源區(qū)的N型外延層上均勻分布；相鄰P區(qū)之間的N型外延層表面設(shè)置有一層采用等離子體轟擊方式形成的缺陷層，所述P區(qū)和缺陷層上設(shè)置有一層肖特基勢(shì)壘金屬，肖特基勢(shì)壘金屬上設(shè)置有金屬化陽極。該器件結(jié)構(gòu)及其制造方法簡單且易于實(shí)現(xiàn)，能夠獲得更快的恢復(fù)時(shí)間，降低器件的開關(guān)功耗，可以用于制造具有超快恢復(fù)特性的復(fù)合二極管(MPS)領(lǐng)域。