一種壓接式二極管管芯制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110389795.X 申請日 -
公開（公告）號 CN113223959A 公開（公告）日 2021-08-06
申請公布號 CN113223959A 申請公布日 2021-08-06
分類號 H01L21/329（2006.01）I;H01L21/50（2006.01）I;H01L21/60（2006.01）I;H01L23/488（2006.01）I;H01L29/06（2006.01）I;H01L29/861（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王民安;王日新;汪杏娟;鄭春鳴;黃永輝;王志亮 申請（專利權）人 黃山芯微電子股份有限公司
代理機構(gòu) 深圳市百瑞專利商標事務所（普通合伙） 代理人 楊大慶
地址 245000安徽省黃山市祁門縣新興路449號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種壓接式二極管管芯及制作方法，包括以下步驟：1）制備二極管擴散片，2）腐蝕電壓槽，3）電壓槽淀積多晶硅膜或氮化硅膜，4）電壓槽玻璃鈍化，5）刻蝕去除不需要多晶硅膜或氮化硅保護的大部分陰極面和陽極面區(qū)域的鈍化膜，6）芯片與鉬片的焊接，7）陰極面蒸鋁，8）陰極面鋁層選擇腐蝕，9）鋁層微合金。進一步10）管芯陽極面鉬片單面多層金屬化，11）電壓槽涂覆第三保護層。焊接前對芯片測試，剔除掉不合格芯片，避免了鉬片等浪費，不合格芯片鉬片經(jīng)過處理后再次利用。電壓槽采用三層保護，降低管芯在高溫動態(tài)下測試的漏電流；鉬片設置鈦鎳銀多層金屬保護防止氧化，降低了熱阻和電阻，減少功耗。