一種晶體硅太陽能電池的擴(kuò)散工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810706918.6 申請日 -
公開（公告）號 CN109103081A 公開（公告）日 2018-12-28
申請公布號 CN109103081A 申請公布日 2018-12-28
分類號 H01L21/223;H01L31/18 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 勵小偉;梁海;賴儒丹 申請（專利權(quán)）人 浙江啟鑫新能源科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州市越秀區(qū)哲力專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 胡擁軍;糜婧
地址 315613浙江省寧波市象山縣經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)濱海工業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種晶體硅太陽能電池的擴(kuò)散工藝，包括以下步驟：S1.擴(kuò)散爐預(yù)熱并通氮氣；S2.進(jìn)舟，保持?jǐn)U散爐的溫度在750～780℃，同時通氮氣；S3.通氧氣、氮氣，氧氣與硅片表面的硅反應(yīng)生成一層二氧化硅層；S4.第一次沉積三氯氧磷；S5.第二次沉積三氯氧磷，磷源濃度較步驟S4提高；S6.升溫擴(kuò)散推進(jìn)；S7.高溫下，第三次沉積三氯氧磷；S8.高溫推進(jìn)結(jié)深；S9.降溫退火；S10.退舟。本發(fā)明沉積磷時，先低濃度后高濃度升溫，采用遞增漸變式進(jìn)行擴(kuò)散，有利于提高電池片的電性能，減小擴(kuò)散極差。