旋涂硼源激光摻雜制作N型選擇性發(fā)射極雙面電池的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910017046.7 申請日 -
公開（公告）號 CN109742172A 公開（公告）日 2019-05-10
申請公布號 CN109742172A 申請公布日 2019-05-10
分類號 H01L31/068（2012.01）I; H01L31/18（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 楊金霖; 袁曉; 李紅波; 柳翠; 梁海; 楊寧; 李士正 申請（專利權(quán)）人 浙江啟鑫新能源科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上?？剖⒅R產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 陳亮
地址 200237上海市徐匯區(qū)梅隴路130號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及旋涂硼源激光摻雜制作N型選擇性發(fā)射極雙面電池的方法，該方法采用的步驟為：N型硅片制絨、正面采用旋涂法旋涂有機(jī)硼源后烘干、擴(kuò)散爐中擴(kuò)散形成正面輕摻雜發(fā)射極、正面BSG激光摻雜形成重?fù)诫s發(fā)射極、背面清洗去PSG、背面磷擴(kuò)散形成磷背場、正反面沉積減反射鈍化膜、印刷正背面電極完成電池制作。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明采用旋涂法將硼源涂覆在硅片正面，利用擴(kuò)散后正面形成的BSG選擇性激光摻雜，使得電極下方區(qū)域重?fù)诫s硼，有效降低接觸電阻，非電極區(qū)采用輕摻雜硼減少了正表面的復(fù)合，有效提高了電池的電性能。