一種掩膜版遠(yuǎn)程檢查裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202220449642.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN216979583U 公開（公告）日 2022-07-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN216979583U 申請(qǐng)公布日 2022-07-15
分類號(hào) G03F1/84（2012.01）I;H04N5/225（2006.01）I;G03B17/56（2021.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 張華超;熊啟龍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 合肥清溢光電有限公司
代理機(jī)構(gòu) 合肥律眾知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 230000安徽省合肥市新站區(qū)谷河路與通淮路交口東北角
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種掩膜版遠(yuǎn)程檢查裝置，包括實(shí)現(xiàn)掩膜版直立固定的立版裝置和朝向立版裝置設(shè)置的可移動(dòng)相機(jī)機(jī)構(gòu)，立版裝置包括可調(diào)版架和驅(qū)動(dòng)可調(diào)版架旋轉(zhuǎn)實(shí)現(xiàn)掩膜版翻面的翻面裝置；可調(diào)版架包括置于直立狀的掩膜版底部的版托以及分別置在直立狀的掩膜版兩側(cè)的固定版夾和移動(dòng)版夾，移動(dòng)版夾相對(duì)固定版夾移動(dòng)；可移動(dòng)相機(jī)機(jī)構(gòu)包括CCD高清相機(jī)本體和相機(jī)安裝座，相機(jī)安裝座包括與CCD高清相機(jī)本體連接的水平移動(dòng)座和連接在水平移動(dòng)座上的升降座，升降座和水平移動(dòng)做分別實(shí)現(xiàn)CCD高清相機(jī)本體在豎直和水平方向上的移動(dòng)；本實(shí)用新型的掩膜版遠(yuǎn)程檢查裝置，旨在解決在清洗后，人員對(duì)掩膜版進(jìn)行表面檢查時(shí)，對(duì)掩膜版造成污染和破壞的隱患。