一種用于掩膜版撬膜的放版裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122613292.4 申請日 -
公開（公告）號 CN216118383U 公開（公告）日 2022-03-22
申請公布號 CN216118383U 申請公布日 2022-03-22
分類號 G03F1/82（2012.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 張偉明;李勝;盧東輝;譚超華 申請（專利權(quán)）人 合肥清溢光電有限公司
代理機構(gòu) 合肥律眾知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 趙娟
地址 230000安徽省合肥市新站區(qū)谷河路與通淮路交口東北角
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及半導(dǎo)體光刻掩膜版制造技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于掩膜版撬膜的放版裝置，包括承重框架，所述承重框架呈凹型結(jié)構(gòu)，其側(cè)邊以及中部均設(shè)置有導(dǎo)軌，所述導(dǎo)軌上滑動設(shè)置有支撐件，多個所述支撐件根據(jù)所處位置的不同其形狀結(jié)構(gòu)也有相應(yīng)的變化。本實用新型中，本裝置為一種無電動氣動的機械化裝置，結(jié)構(gòu)簡單實用，旨在以低成本、易操作的方法實現(xiàn)用于不同尺寸掩膜版撬膜的放版功能，固定軌道能支撐掩膜版的四個端角，滑動軌道能支撐掩膜版的中部，這樣掩膜版放上去后更穩(wěn)定，減少晃動以及偏移，且使得撬膜和擦膠時掩膜版不會松動，降低掩膜版損壞的風(fēng)險，提高撬膜的效率和品質(zhì)。