一種掩膜版檢查機檢查區(qū)域坐標設置方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210205006.7 申請日 -
公開（公告）號 CN114563916A 公開（公告）日 2022-05-31
申請公布號 CN114563916A 申請公布日 2022-05-31
分類號 G03F1/84（2012.01）I 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 王亞騰;熊啟龍 申請（專利權）人 合肥清溢光電有限公司
代理機構 合肥律眾知識產權代理有限公司 代理人 -
地址 230000安徽省合肥市新站區(qū)谷河路與通淮路交口東北角
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及掩膜版檢查機，具體涉及一種掩膜版檢查機檢查區(qū)域坐標設置方法，獲取待檢查掩膜版需要設置圖形點位的坐標信息，并對圖形點位中參考點的坐標信息進行處理；待檢查掩膜版進入掩膜版檢查機后，尋找設置的參考點，并記錄相應的實際點位坐標信息；根據(jù)參考點的坐標信息與相應的實際點位坐標信息計算補償值，基于補償值計算所有圖形點位的實際點位坐標信息；將所有圖形點位的實際點位坐標信息錄入掩膜版檢查機；本發(fā)明提供的技術方案能夠有效克服現(xiàn)有技術所存在的掩膜版的尋點設置需要耗費大量時間的缺陷。