一種半導(dǎo)體刻蝕機臺的靜電吸盤的拆裝裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110286373.X 申請日 -
公開（公告）號 CN113042991A 公開（公告）日 2021-06-29
申請公布號 CN113042991A 申請公布日 2021-06-29
分類號 B23P19/00 分類 機床；不包含在其他類目中的金屬加工;
發(fā)明人 葉鴻新 申請（專利權(quán)）人 泉芯集成電路制造（濟南）有限公司
代理機構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 李洋
地址 250101 山東省濟南市高新區(qū)機場路7617號411-2-9室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體刻蝕機臺的靜電吸盤的拆裝裝置，其包括提升機構(gòu)；提升機構(gòu)包括驅(qū)動件、轉(zhuǎn)動件和滑動件，滑動件能夠與靜電吸盤固定，轉(zhuǎn)動件能夠放置于機臺，轉(zhuǎn)動件設(shè)有傾斜面，驅(qū)動件能夠驅(qū)動轉(zhuǎn)動件轉(zhuǎn)動并使滑動件相對沿傾斜面向上滑動，以帶動靜電吸盤向上移動并與機臺脫離。該拆裝裝置能夠穩(wěn)定地拆裝靜電吸盤，避免靜電吸盤滑落并可保證拆裝效率。