一種半導(dǎo)體刻蝕機(jī)臺(tái)的靜電吸盤的拆裝裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110286373.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113042991A 公開（公告）日 2021-06-29
申請(qǐng)公布號(hào) CN113042991A 申請(qǐng)公布日 2021-06-29
分類號(hào) B23P19/00 分類 機(jī)床；不包含在其他類目中的金屬加工;
發(fā)明人 葉鴻新 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 泉芯集成電路制造（濟(jì)南）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 李洋
地址 250101 山東省濟(jì)南市高新區(qū)機(jī)場(chǎng)路7617號(hào)411-2-9室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體刻蝕機(jī)臺(tái)的靜電吸盤的拆裝裝置，其包括提升機(jī)構(gòu)；提升機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)件、轉(zhuǎn)動(dòng)件和滑動(dòng)件，滑動(dòng)件能夠與靜電吸盤固定，轉(zhuǎn)動(dòng)件能夠放置于機(jī)臺(tái)，轉(zhuǎn)動(dòng)件設(shè)有傾斜面，驅(qū)動(dòng)件能夠驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)件轉(zhuǎn)動(dòng)并使滑動(dòng)件相對(duì)沿傾斜面向上滑動(dòng)，以帶動(dòng)靜電吸盤向上移動(dòng)并與機(jī)臺(tái)脫離。該拆裝裝置能夠穩(wěn)定地拆裝靜電吸盤，避免靜電吸盤滑落并可保證拆裝效率。