一種硅片清洗裝置與設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022150588.2 申請日 -
公開（公告）號 CN213826084U 公開（公告）日 2021-07-30
申請公布號 CN213826084U 申請公布日 2021-07-30
分類號 B08B3/02（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 葉順成 申請（專利權）人 泉芯集成電路制造（濟南）有限公司
代理機構 北京超凡宏宇專利代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 李莎
地址 250000山東省濟南市高新區(qū)機場路7617號411-2-9室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請?zhí)峁┝艘环N硅片清洗裝置與設備，涉及硅片生產(chǎn)制備技術領域。該硅片清洗裝置包括：硅片夾具，用于夾持待清洗硅片；噴灑桿，噴灑桿內設置有通道，通道用于通入化學清洗液，并朝向待清洗硅片噴灑化學清洗液；定位器，安裝于噴灑桿，用于定位待清洗硅片的圓心或硅片夾具的中心，并確定定位角度，以通過定位角度調節(jié)化學清洗液的噴灑角度。本申請?zhí)峁┑墓杵逑囱b置與設備具有即使不同工程師對硅片進行清洗操作，對硅片上的研磨顆粒清洗效果的差異也不會太大，利于后期對硅片的加工。