一種線寬的測量方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110264099.6 申請日 -
公開（公告）號 CN113053768A 公開（公告）日 2021-06-29
申請公布號 CN113053768A 申請公布日 2021-06-29
分類號 H01L21/66;H01L23/544 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 陳慶煌;柯思羽;陳國強;劉志成 申請（專利權(quán)）人 泉芯集成電路制造（濟南）有限公司
代理機構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 駱宗力
地址 250101 山東省濟南市高新區(qū)機場路7617號411-2-9室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種線寬的測量方法，通過將光刻膠層的顯影區(qū)域圖案轉(zhuǎn)移到測試基材上，進而通過對測試基材進行測量即能完成對顯示區(qū)域進行測量的目的。并且，由于測試基材覆蓋光刻膠層且填充光刻膠層的顯影區(qū)域的部分的熱膨脹系數(shù)小于光刻膠層的熱膨脹系數(shù)，測試基材該部分出現(xiàn)受熱形變的情況較小，進而在采用電子顯微鏡采集測試基材上線寬數(shù)據(jù)時出現(xiàn)尺寸失真的情況有所改善，亦即改善了對光刻膠層的顯影區(qū)域的線寬進行測量時出現(xiàn)的尺寸失真的情況，保證線寬的測量準(zhǔn)確度高。