產(chǎn)品標(biāo)記位置偏移的測(cè)量方法、裝置、設(shè)備及介質(zhì)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911254213.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN110953989B 公開(kāi)(公告)日 2021-07-30
申請(qǐng)公布號(hào) CN110953989B 申請(qǐng)公布日 2021-07-30
分類(lèi)號(hào) G01B11/00(2006.01)I 分類(lèi) 測(cè)量;測(cè)試;
發(fā)明人 王帥;劉玉;陳建超 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 青島歌爾微電子研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市世紀(jì)恒程知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 代理人 胡海國(guó)
地址 266104山東省青島市嶗山區(qū)松嶺路396號(hào)106室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種產(chǎn)品標(biāo)記位置偏移的測(cè)量方法、裝置、設(shè)備及介質(zhì),該方法包括:在檢測(cè)到測(cè)量產(chǎn)品標(biāo)記位置偏移的測(cè)量指令時(shí),獲取對(duì)應(yīng)待測(cè)量圖紙矩陣;獲取所述產(chǎn)品的非標(biāo)記面中與所述待測(cè)量圖紙矩陣對(duì)應(yīng)的第一待測(cè)量標(biāo)記區(qū)域并置于預(yù)設(shè)取象位置區(qū)域中,以通過(guò)預(yù)設(shè)第一相機(jī)對(duì)所述待測(cè)量標(biāo)記區(qū)域進(jìn)行第一取象,以得到第一坐標(biāo)信息;通過(guò)預(yù)設(shè)第二相機(jī)對(duì)所述產(chǎn)品的標(biāo)記面中與所述待測(cè)量圖紙矩陣對(duì)應(yīng)的第二待測(cè)量標(biāo)記區(qū)域進(jìn)行第二取象,以得到第二坐標(biāo)信息;根據(jù)所述待測(cè)量圖紙矩陣、所述第一坐標(biāo)信息與所述第二坐標(biāo)信息,得到所述產(chǎn)品第一標(biāo)記位的偏移結(jié)果。本發(fā)明解決現(xiàn)有技術(shù)中對(duì)印刻的信息進(jìn)行偏移測(cè)量時(shí)存在操作復(fù)雜,測(cè)量成本高的技術(shù)問(wèn)題。