真空顯影裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201921439317.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN210983030U | 公開（公告）日 | 2020-07-10 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN210983030U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-07-10 |
| 分類號(hào) | G03F7/30(2006.01)I;H05K3/06(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 白耀文;石林國(guó);柯雪麗;廖曉川 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 衢州順絡(luò)電路板有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 浙江永鼎律師事務(wù)所 | 代理人 | 衢州順絡(luò)電路板有限公司 |
| 地址 | 324022浙江省衢州市衢江區(qū)綠色產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)百靈中路1號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供了一種真空顯影裝置，它解決了顯影液交換速率慢導(dǎo)致的顯影效果不佳，顯影液利用率低等問題。其包括具有內(nèi)腔的顯影箱體，顯影箱體內(nèi)設(shè)有用于放置具有上板面和下板面的板體的水平輸送機(jī)構(gòu)，水平輸送機(jī)構(gòu)上方和/或下方分別依次設(shè)有若干噴管，噴管一側(cè)分別具有若干朝向板體的上板面和/或下板面的噴嘴，水平輸送機(jī)構(gòu)上方和/或下方固定或可活動(dòng)地設(shè)有風(fēng)刀組件，風(fēng)刀組件具有朝向板體的上板面或下板面的風(fēng)口，且各個(gè)風(fēng)刀組件均與一個(gè)設(shè)置在顯影箱體上端的第一級(jí)水汽分離裝置相連，且第一級(jí)水汽分離裝置通過第二級(jí)水汽分離裝置和抽風(fēng)機(jī)相連。本實(shí)用新型具有顯影液交換率高，顯影液利用充分等優(yōu)點(diǎn)。?? |
