一種顯影裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110693788.9 申請日 -
公開（公告）號 CN113359398A 公開（公告）日 2021-09-07
申請公布號 CN113359398A 申請公布日 2021-09-07
分類號 G03F7/30 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 唐興友 申請（專利權）人 四川科爾威光電科技有限公司
代理機構 成都市鼎宏恒業(yè)知識產(chǎn)權代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 羅超
地址 610000 四川省成都市高新區(qū)世紀城南路599號天府軟件園D6棟505號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種顯影裝置，包括:噴液樁，其上設有至少兩個對稱分布的顯影液霧化噴頭和至少兩個對稱分布的純水噴頭；受液板，圍繞噴液樁設置，且受液板傾斜設置；驅動齒輪，與受液板相連以驅動受液板圍繞噴液樁旋轉；接液槽，圍繞噴液樁設置并位于受液板的下方，接液槽的底部設有接液槽出液口；排液槽，位于接液槽的下方，排液槽的底部設有排液槽出液口。采用霧化噴淋的方式，既能避免傳統(tǒng)浸沒式顯影方式造成顯影液中的有效成分濃度逐漸降低進而影響顯影質(zhì)量的問題，又能避免傳統(tǒng)噴淋方式水壓對光刻膠的外力破壞問題，并且受液板傾斜設置，解決了傳統(tǒng)噴淋方式中平面旋轉造成遠近圓心處會有明顯的顯影程度差異的問題。