一種晶圓夾取裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202020741792.9 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN211670187U | 公開（公告）日 | 2020-10-13 |
| 申請公布號 | CN211670187U | 申請公布日 | 2020-10-13 |
| 分類號 | H01L21/687(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 張強;沈杰;林擎宇 | 申請（專利權(quán)）人 | 四川科爾威光電科技有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 成都慕川專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 四川科爾威光電科技有限公司 |
| 地址 | 610000四川省成都市高新區(qū)世紀(jì)城南路599號天府軟件園D6棟505號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開了一種晶圓夾取裝置，主要解決現(xiàn)有晶圓夾取裝置無法滿足多直徑規(guī)格晶圓夾取的需求，導(dǎo)致夾取裝置使用受限的問題。該夾取裝置包括帶有承載臺的支撐底架，設(shè)置于支撐底架上左右兩條滑槽，兩端分別卡入滑槽并與滑槽滑動連接的夾持件安裝板，設(shè)置于夾持件安裝板上的可調(diào)節(jié)夾持件，以及夾持件調(diào)節(jié)裝置；所述可調(diào)節(jié)夾持件包括一對夾持半環(huán)，設(shè)置于夾持件安裝板上用于對夾持半環(huán)的夾持半徑進行調(diào)節(jié)的調(diào)節(jié)組件，以及與夾持半環(huán)內(nèi)側(cè)連接的翻轉(zhuǎn)環(huán)。通過上述設(shè)計，本實用新型能夠方便、快捷地實現(xiàn)晶圓的夾取與晶圓的轉(zhuǎn)移，并能夠通過翻轉(zhuǎn)機構(gòu)快速實現(xiàn)對晶圓兩面的處理。因此，適于推廣應(yīng)用。?? |
