一種散熱效果好的離子束刻蝕承載裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202020741206.0 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN211670172U | 公開（公告）日 | 2020-10-13 |
| 申請公布號 | CN211670172U | 申請公布日 | 2020-10-13 |
| 分類號 | H01J37/32(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 陽熊 | 申請（專利權(quán)）人 | 四川科爾威光電科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 成都慕川專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 四川科爾威光電科技有限公司 |
| 地址 | 610000四川省成都市高新區(qū)世紀(jì)城南路599號天府軟件園D6棟505號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開了一種散熱效果好的離子束刻蝕承載裝置，主要解決現(xiàn)有半導(dǎo)體離子束刻蝕中，產(chǎn)品片承載裝置散熱效果不好，導(dǎo)致離子束刻蝕次品率高的問題。該承載裝置包括托盤和運動小車，還包括設(shè)置于運動小車上的散熱盤；所述托盤包括內(nèi)部具有空腔的托盤本體，設(shè)置于托盤本體的空腔內(nèi)并與托盤本體的頂板內(nèi)側(cè)固定連接的水循環(huán)管路，設(shè)置于托盤本體側(cè)壁與水循環(huán)管路連通的冷卻水進(jìn)出接頭，以及開設(shè)于托盤本體的底板上的滑槽與散熱孔。本實用新型通過在運動小車上增設(shè)散熱盤，利用導(dǎo)軌式散熱片將托盤本體內(nèi)積聚的熱量引導(dǎo)至散熱盤散出，同時利用冷卻水循環(huán)的方式帶走托盤上的熱量，實現(xiàn)多方式、多重散熱，避免產(chǎn)品片刻蝕時損壞，提高產(chǎn)品片的成品率。?? |
