一種半導(dǎo)體加工用噴膠裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202020741228.7 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN212576711U | 公開（公告）日 | 2021-02-23 |
| 申請公布號 | CN212576711U | 申請公布日 | 2021-02-23 |
| 分類號 | B05C5/02(2006.01)I; | 分類 | 一般噴射或霧化；對表面涂覆液體或其他流體的一般方法〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 顧峽 | 申請（專利權(quán)）人 | 四川科爾威光電科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 成都慕川專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 楊艷 |
| 地址 | 610000四川省成都市高新區(qū)世紀(jì)城南路599號天府軟件園D6棟505號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種半導(dǎo)體加工用噴膠裝置，主要解決現(xiàn)有半導(dǎo)體噴膠裝置噴涂后，半導(dǎo)體基片上及膠溶液分布不均勻，導(dǎo)致噴涂效果不佳的問題。該噴膠裝置包括通過支腳固定的底座，設(shè)置于底座上并能夠沿底座側(cè)壁移動(dòng)的支撐架，設(shè)置于支撐架上的控制柜，設(shè)置于支撐架上與控制柜相連的行走升降機(jī)構(gòu)，與行走升降機(jī)構(gòu)下端固定連接的電動(dòng)噴槍，設(shè)置于支撐架上與電動(dòng)噴槍通過軟管連接的供膠箱，以及設(shè)置于底座上的若干加工承載臺。通過上述設(shè)計(jì)，本實(shí)用新型本實(shí)用新型能夠通過旋轉(zhuǎn)圓臺的轉(zhuǎn)動(dòng)，使半導(dǎo)體基片上的膠溶液在旋轉(zhuǎn)的離心作用下運(yùn)動(dòng)，使得部分噴涂較厚的區(qū)域逐漸離心變薄，使整個(gè)基片噴涂的溶液覆蓋更加均勻，提升噴涂效果。因此，適宜推廣應(yīng)用。?? |
