一種晶圓放置對(duì)準(zhǔn)裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020741226.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN211907406U | 公開（公告）日 | 2020-11-10 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211907406U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-11-10 |
| 分類號(hào) | H01L21/68(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 尚宏博 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 四川科爾威光電科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 成都慕川專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 四川科爾威光電科技有限公司 |
| 地址 | 610000四川省成都市高新區(qū)世紀(jì)城南路599號(hào)天府軟件園D6棟505號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種晶圓放置對(duì)準(zhǔn)裝置，主要解決現(xiàn)有晶圓樣品在進(jìn)行樣品檢測(cè)時(shí)，樣品中心調(diào)節(jié)不便導(dǎo)致樣品檢測(cè)檢測(cè)準(zhǔn)確性低的問題。該放置對(duì)準(zhǔn)裝置包括用于放置晶圓樣品的承載裝置，與承載裝置固定連接的對(duì)準(zhǔn)調(diào)節(jié)裝置，以及設(shè)置于測(cè)試設(shè)備上的對(duì)位孔及激光定位裝置；所述承載裝置包括定位承載臺(tái)，設(shè)置于定位承載臺(tái)下方的定位激光管，設(shè)置于定位承載臺(tái)上方的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，以及與旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)拆卸式連接的樣品托盤。通過上述設(shè)計(jì)，在進(jìn)行晶圓樣品測(cè)試，能通過本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)晶圓樣品在測(cè)試設(shè)備的不便手動(dòng)調(diào)節(jié)的空間內(nèi)實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓樣品的精準(zhǔn)對(duì)位放置，提高了晶圓樣品測(cè)試的可靠性。因此，適于推廣應(yīng)用。?? |
