超高真空碳化硅原料合成爐系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011438043.X 申請日 -
公開（公告）號 CN112516916A 公開（公告）日 2021-03-19
申請公布號 CN112516916A 申請公布日 2021-03-19
分類號 C04B35/626(2006.01)I;B01J3/03(2006.01)I;C30B23/00(2006.01)I;B01J3/00(2006.01)I;C30B29/36(2006.01)I;C04B35/565(2006.01)I;C01B32/956(2017.01)I 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 靳啟忠;劉騰飛;白劍銘;陳滿;劉春播;段聰;趙煥君 申請（專利權(quán)）人 河北同光半導(dǎo)體股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京連城創(chuàng)新知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 許莉
地址 071051河北省保定市北三環(huán)6001號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種超高真空碳化硅原料合成爐系統(tǒng)，涉及碳化硅合成技術(shù)領(lǐng)域，由其制備的高純碳化硅粉體原料能夠廣泛用于半導(dǎo)體碳化硅單晶體的生長及高純碳化硅陶瓷樣品的制備。本發(fā)明所述的超高真空碳化硅原料合成爐系統(tǒng)中，爐室為圓筒形立式雙層水冷結(jié)構(gòu)，爐室上安裝爐蓋，爐蓋為雙層水冷結(jié)構(gòu)，紅外測溫組件位于爐蓋頂端，爐蓋可由電動升降機(jī)實(shí)現(xiàn)升降并旋開；爐室通過閘板閥、泵抽彎管與分子泵連接，組成系統(tǒng)主抽管路，爐室通過角閥、波紋管與機(jī)械泵相連，組成系統(tǒng)旁抽管路；樣品支撐機(jī)構(gòu)與爐室底盤固定，感應(yīng)加熱組件、測量組件分別與爐室側(cè)面法蘭固定。??