一種多能量耦合等離子體化學(xué)氣相沉積法制備金剛石的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110574739.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113025990B 公開（公告）日 2021-08-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN113025990B 申請(qǐng)公布日 2021-08-27
分類號(hào) C23C16/27;C23C16/517;C23C16/52 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 王濤;魏遠(yuǎn)征;張雪梅;王簫;徐念;胡常青;趙建海 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州香榭軒表面工程技術(shù)咨詢有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 汪青;周敏
地址 200000 上海市青浦區(qū)新科路303號(hào)B1
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種多能量耦合等離子體化學(xué)氣相沉積法制備金剛石的方法，所述等離子體化學(xué)氣相沉積法采用熱絲、脈沖偏壓電源和旋轉(zhuǎn)磁場(chǎng)耦合作為復(fù)合能量源，熱絲用于激發(fā)含碳?xì)怏w產(chǎn)生初級(jí)等離子體，脈沖偏壓用于對(duì)熱絲產(chǎn)生的初級(jí)等離子體施加電場(chǎng)，使初級(jí)等離子體在電場(chǎng)的耦合作用下拉伸并形成覆蓋區(qū)域更廣的二級(jí)等離子體，旋轉(zhuǎn)磁場(chǎng)作用于金剛石沉積基片的表面區(qū)域，將所述二級(jí)等離子體中的粒子能量進(jìn)一步均化耦合，并提高等離子體中能夠形成SP3的碳結(jié)構(gòu)的粒子比例。本發(fā)明方法不僅能夠穩(wěn)定獲得高質(zhì)量的金剛石，而且對(duì)于沉積條件及工藝參數(shù)的控制要求相對(duì)較低，方法易于控制，調(diào)控寬容度高、適用面廣，特別適于金剛石的工業(yè)化生產(chǎn)。