相向摩擦減阻力慣性壓電馬達及控制法和掃描探針顯微鏡

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510189463.1 申請日 -
公開（公告）號 CN104767421A 公開（公告）日 2015-07-08
申請公布號 CN104767421A 申請公布日 2015-07-08
分類號 H02N2/02(2006.01)I;H02N2/06(2006.01)I;G01Q70/02(2010.01)I 分類 發(fā)電、變電或配電;
發(fā)明人 陸輕鈾 申請（專利權）人 合肥中科微力科技有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 230031 安徽省合肥市蜀山湖路350號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明相向摩擦減阻力慣性壓電馬達及控制法和掃描探針顯微鏡，包括驅動壓電體、滑桿、彈簧片，其特征是還包括副壓電體，所述彈簧片將滑桿的兩端與副壓電體形變的兩端彈性相壓，副壓電體或滑桿與驅動壓電體形變兩端的一端固定。馬達靜止時，滑桿受到的握持力是較大的靜摩擦力，馬達抗干擾能力強，穩(wěn)定性高；馬達行走時，副壓電體形變，副壓電體兩端和滑桿間的總摩擦阻力減小，這時驅動壓電體快速形變產(chǎn)生的慣性力就有很大一部分轉為輸出推力，馬達步進有力。本發(fā)明保留了慣性壓電馬達結構簡單，精度高，工作溫區(qū)大，加工精度要求低的優(yōu)點，但解決了其剛性低、緊湊性低，輸出推力小的缺點，適合于在低溫、超高真空、強磁場等極端條件下工作。