一種雙壓電體并排慣性驅(qū)動的片型旋轉(zhuǎn)馬達(dá)及掃描探針顯微鏡

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921877735.7 申請日 -
公開（公告）號 CN211981776U 公開（公告）日 2020-11-20
申請公布號 CN211981776U 申請公布日 2020-11-20
分類號 H02N2/10(2006.01)I 分類 發(fā)電、變電或配電;
發(fā)明人 謝彩紅;陸輕鈾 申請（專利權(quán)）人 合肥中科微力科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 230088安徽省合肥市高新區(qū)習(xí)友路2666號創(chuàng)新院F103
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型雙壓電體并排慣性驅(qū)動的片型旋轉(zhuǎn)馬達(dá)及掃描探針顯微鏡，包括第一壓電體、第二壓電體、基座、轉(zhuǎn)盤片、轉(zhuǎn)軸、第一壓臂、第二壓臂，第一壓電體與第二壓電體按照形變方向平行固定于基座，兩壓電體均為片狀的伸縮壓電體，它們?yōu)榈群窆裁嬖O(shè)置，構(gòu)成雙驅(qū)動壓電片，轉(zhuǎn)軸垂直于轉(zhuǎn)盤片盤面并固定于轉(zhuǎn)盤片中心，構(gòu)成共軸旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，第一壓臂與第二壓臂的一端分別固定于第一壓電體與第二壓電體的自由端，兩壓臂平行并在雙驅(qū)動壓電片同一側(cè)，且平行于兩壓電體形變方向，兩壓臂另一端都指向基座，且彈性地夾持住轉(zhuǎn)盤片邊緣，兩壓電體形變方向及兩壓臂均平行于轉(zhuǎn)盤片盤面，轉(zhuǎn)軸為對外力矩輸出軸；厚度尺寸小，適于管狀極端條件下測量儀器旋轉(zhuǎn)的應(yīng)用。??