雙壓電管嵌套機(jī)械并聯(lián)高穩(wěn)定掃描器及掃描探針顯微鏡

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201711188898.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN108089030A 公開(kāi)（公告）日 2018-05-29
申請(qǐng)公布號(hào) CN108089030A 申請(qǐng)公布日 2018-05-29
分類號(hào) G01Q60/00 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 葛威鋒;陸輕鈾;張晶 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 合肥中科微力科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 230088 安徽省合肥市高新區(qū)習(xí)友路2666號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種雙壓電管嵌套機(jī)械并聯(lián)高穩(wěn)定掃描器及掃描探針顯微鏡，包括兩個(gè)壓電管，兩個(gè)壓電管共軸地相互嵌套在一起，內(nèi)壓電管的兩端分別與外壓電管的兩端相互固定，形成雙管嵌套機(jī)械并聯(lián)結(jié)構(gòu)，這相當(dāng)于增加了掃描器的有效機(jī)械壁厚，使其更加堅(jiān)固、剛性強(qiáng)，進(jìn)而增強(qiáng)了掃描器的抗震性和穩(wěn)定性，非常適合于極端與惡劣環(huán)境下的掃描成像；同時(shí)，內(nèi)外壓電管又能在Z方向同步伸長(zhǎng)或縮短，使得本發(fā)明的壓電掃描器在Z方向上的壓電伸縮長(zhǎng)度并不會(huì)因此而減少，因而依然能夠滿足掃描探針顯微鏡要求其壓電掃描器在Z方向伸縮長(zhǎng)度足夠大的必要條件。