一種大尺寸硅片脫膠機(jī)噴淋裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202122118205.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN215543189U 公開（公告）日 2022-01-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN215543189U 申請(qǐng)公布日 2022-01-18
分類號(hào) B08B3/02（2006.01）I;B08B3/14（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 孫彬;朱炳;湯琦;徐志群;付明全 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 高景太陽能股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京眾達(dá)德權(quán)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張曉冬
地址 519000廣東省珠海市金灣區(qū)三灶鎮(zhèn)金海岸大道西46號(hào)4#號(hào)廠房第四層404
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開一種大尺寸硅片脫膠機(jī)噴淋裝置，包括噴淋槽底板、噴淋管組和傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述噴淋槽底板的前后兩側(cè)均焊接有短側(cè)板，在噴淋槽底板的左右兩側(cè)均焊接有長側(cè)板，所述噴淋槽底板上表面與短側(cè)板和長側(cè)板的內(nèi)表面組成了脫膠槽，在脫膠槽的內(nèi)部設(shè)有噴淋管組，所述噴淋管組在脫膠槽的內(nèi)壁頂端由上至下依次分為第一噴淋管、第二噴淋管和第三噴淋管，在每根噴淋管的表面均等間距安裝有噴頭；本實(shí)用新型通過設(shè)置對(duì)稱的噴淋管組在使用時(shí)可通過不同噴射角度的噴淋管配合后期連接增壓設(shè)備調(diào)整每根噴淋管的噴淋壓強(qiáng)，就可以實(shí)現(xiàn)多角度不同壓力對(duì)大尺寸硅片表面進(jìn)行充分的清洗提高清洗效果降低了污片率。