一種可抗PID的硅片表面鍍膜的臭氧噴淋系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120146722.3 申請日 -
公開（公告）號 CN216015398U 公開（公告）日 2022-03-11
申請公布號 CN216015398U 申請公布日 2022-03-11
分類號 H01L31/18（2006.01）I;H01L31/0216（2014.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 盧艷兵;簡學(xué)勇;胡浩侖;范立峰;李建敏 申請（專利權(quán)）人 賽維LDK太陽能高科技（新余）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南昌逸辰知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 劉陽陽
地址 338000江西省新余市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種可抗PID的硅片表面鍍膜的臭氧噴淋系統(tǒng)，包括支撐鋼架和臭氧電柜，支撐鋼架的上方固定安裝有臭氧電柜，臭氧電柜內(nèi)壁的的上方固定安裝有蜂鳴器，臭氧電柜內(nèi)部的左側(cè)固定安裝有臭氧發(fā)生器，臭氧發(fā)生器右側(cè)的排氣端固定安裝有排氣管，排氣管的中部固定安裝有電磁閥，臭氧電柜的內(nèi)部下方固定安裝有溫度傳感器，臭氧電柜內(nèi)部的右下方固定安裝有空氣開關(guān)，臭氧電柜的正表面右側(cè)固定安裝有固定控制面板，支撐鋼架的底端通過支架固定安裝有臭氧噴淋箱，臭氧噴淋箱的底端豎向開孔設(shè)置有通孔，臭氧電柜內(nèi)壁的左上方和右下方均固定安裝有風(fēng)機(jī)。本實(shí)用新型安全性能更高，噴淋箱罩設(shè)計(jì)更加合理，更加便于對臭氧電柜和軟管進(jìn)行檢修。