一種薄膜體聲波諧振器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010128263.6 申請日 -
公開（公告）號 CN111490748A 公開（公告）日 2020-08-04
申請公布號 CN111490748A 申請公布日 2020-08-04
分類號 H03H9/17(2006.01)I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 孫成亮;劉炎;蔡耀;鄒楊;高超 申請（專利權(quán)）人 武漢敏聲新技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 湖北武漢永嘉專利代理有限公司 代理人 武漢大學(xué);武漢敏聲新技術(shù)有限公司
地址 430072湖北省武漢市武昌區(qū)八一路299號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種薄膜體聲波諧振器，包括：上電極、壓電層、下電極、上溫度補(bǔ)償層、中溫度補(bǔ)償層和下溫度補(bǔ)償層；上、中、下溫度補(bǔ)償層內(nèi)嵌于上電極、壓電層和下電極中；上、中、下溫度補(bǔ)償層由分別由任意形狀的柱形結(jié)構(gòu)組成；其中，柱形結(jié)構(gòu)呈周期性分布，形成上、中、下散射體；上、中、下溫度補(bǔ)償層的散射體結(jié)構(gòu)與分別與上電極、壓電層、下電極構(gòu)成上、中、下聲子晶體結(jié)構(gòu)。本發(fā)明通過嵌入多層溫度補(bǔ)償結(jié)構(gòu)，可以與壓電層形成多層聲子晶體結(jié)構(gòu)，一方面可以改變諧振器的溫度頻率系數(shù)，實現(xiàn)頻率隨溫度的零漂移；另一方面，聲子晶體結(jié)構(gòu)能夠在特定工作頻率范圍內(nèi)對雜波進(jìn)行屏蔽和抑制，可以大大提高諧振器的Q值。??