一種壓電式傳感器及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010008412.5 申請日 -
公開（公告）號 CN111174951A 公開（公告）日 2020-05-19
申請公布號 CN111174951A 申請公布日 2020-05-19
分類號 G01L1/16;G01L9/08;B81B7/02;B81B7/00;B81B3/00;B81C1/00 分類 測量；測試;
發(fā)明人 孫成亮;胡博豪;劉婕妤;林炳輝;謝英 申請（專利權）人 武漢敏聲新技術有限公司
代理機構 武漢科皓知識產(chǎn)權代理事務所(特殊普通合伙) 代理人 武漢大學
地址 430072 湖北省武漢市武昌區(qū)珞珈山武漢大學
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出了一種壓電式傳感器及其制備方法，所述壓電式傳感器包括：基板、多個壓電懸臂梁、固定柱；基板帶有多個空腔；壓電懸臂梁為雙晶片結構，或者由單晶片結構和支撐層組成，壓電懸臂梁的自由端面積大于固定端面積；固定柱設置在基板中心用于固定壓電懸臂梁。本發(fā)明提供的壓電式傳感器通過提出一種新的壓電懸臂梁的結構形式，結合帶有特定形狀和深度空腔的襯底，可顯著提升傳感器靈敏度等性能。所述壓電式傳感器的制備方法，包括：帶有空腔襯底的加工，襯底之上壓電懸臂梁中支撐層和壓電疊層的沉積和刻蝕。所述制備方法，工藝簡單，兼容性強，適用于包含各類壓電材料和各類襯底的壓電式傳感器加工。