一種高靈敏度的振動傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010027154.5 申請日 -
公開（公告）號 CN111337119A 公開（公告）日 2020-06-26
申請公布號 CN111337119A 申請公布日 2020-06-26
分類號 G01H11/08(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 孫成亮;胡博豪;吳志鵬;王磊;林炳輝;朱偉;占惠花 申請（專利權(quán)）人 武漢敏聲新技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 湖北武漢永嘉專利代理有限公司 代理人 武漢大學(xué);武漢敏聲新技術(shù)有限公司
地址 430072湖北省武漢市武昌區(qū)八一路299號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種高靈敏度的振動傳感器，包括具有空腔的襯底和多個壓電懸臂梁，空腔的底面中心設(shè)置有固定柱，多個懸臂梁圍成信號接收區(qū)域，通過固定柱固定在襯底上方；壓電懸臂梁包括固定端和自由端，自由端的寬度大于固定端，固定端固定在固定柱上，自由端懸置于空腔上方，且相鄰的壓電懸臂梁之間設(shè)置有間隙；該傳感器還包括帶有凹槽的封帽，封帽的槽沿與壓電懸臂梁的自由端相連接。凹槽的截面可為任意形狀，優(yōu)選底面與側(cè)壁夾角大于90°的梯形。本發(fā)明通過封帽將振動信號產(chǎn)生載荷集中在壓電懸臂梁自由端，會使壓電懸臂梁受到的彎矩更大，壓電懸臂梁的撓曲程度更大，且夾角大于90°時能夠產(chǎn)生較大的橫向載荷，有效提高振動傳感器的靈敏度。??