提升檢測精度的電路測試裝置和方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110772693.6 申請日 -
公開（公告）號 CN113504457A 公開（公告）日 2021-10-15
申請公布號 CN113504457A 申請公布日 2021-10-15
分類號 G01R31/28（2006.01）I;G01R31/30（2006.01）I;G01R1/28（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 成楊;王一鵬;張樹曉 申請（專利權(quán)）人 中穎電子股份有限公司
代理機構(gòu) 上海專利商標事務所有限公司 代理人 胡林嶺
地址 200335上海市長寧區(qū)金鐘路767弄3號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了提升檢測精度的電路測試裝置和方法。晶圓測試接口通過一控制信號來控制測試模式控制邏輯模塊；測試模式控制邏輯模塊根據(jù)控制信號控制切換模塊選擇將基準信號還是檢測模塊的輸出傳送到檢測輸出端；在初始晶圓測試時，切換模塊選擇將基準信號傳到檢測輸出端進行測試；若基準信號與零溫度點基準信號有誤差，則對基準信號進行檔位調(diào)節(jié)，直至調(diào)節(jié)為零溫度點基準信號，隨后控制切換模塊選擇將檢測模塊的輸出與檢測輸出端連接；檢測模塊將待測信號與經(jīng)檔位調(diào)節(jié)后所得到的零溫度點基準信號進行比較，測得檢測閾值的初始值；其中，對所述基準信號的檔位調(diào)節(jié)以及對所述檢測閾值的初始值的修調(diào)通過單次燒寫熔絲同時實現(xiàn)。