一種三向高溫壓電加速度傳感器及其裝配方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210285642.5 申請日 -
公開(公告)號 CN114755454A 公開(公告)日 2022-07-15
申請公布號 CN114755454A 申請公布日 2022-07-15
分類號 G01P15/09(2006.01)I;G01P15/08(2006.01)I;G01H11/08(2006.01)I 分類 測量;測試;
發(fā)明人 何勤;張穎軒;李江渠;于慧;彭泳卿;劉鵬 申請(專利權(quán))人 航天長征火箭技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京巨弘知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 -
地址 100076北京市豐臺區(qū)南大紅門路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種三向高溫壓電加速度傳感器及其裝配方法,敏感組件包括三菱柱,壓電片、慣性質(zhì)量塊和預(yù)緊環(huán),壓電片、慣性質(zhì)量塊依次緊貼三菱柱外側(cè)且沿三菱柱的軸心均勻分布,預(yù)緊環(huán)的材料為記憶合金,預(yù)緊環(huán)通過低溫下機(jī)械擴(kuò)徑、裝配時(shí)加熱產(chǎn)生徑向收縮將壓電片和慣性質(zhì)量塊箍緊在三菱柱的外側(cè)。本發(fā)明的敏感組件采用三角剪切敏感結(jié)構(gòu),壓電片慣性質(zhì)量塊采用高張力的預(yù)緊環(huán)固定,組件不需要粘合劑或螺柱,從而保證了最佳性能和可靠性,預(yù)緊環(huán)使壓電片產(chǎn)生預(yù)應(yīng)力,以得到極高的線性度,工作時(shí)無需外部供電,可靠耐用、測量頻率范圍寬、量程大、使用溫度范圍廣;傳感器工作溫度范圍為?74℃~250℃,工作頻率0.1Hz~10000Hz,測量量程可以達(dá)到500g。