一種層壓模具的制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911421719.1 申請日 -
公開(公告)號 CN111148357A 公開(公告)日 2021-06-01
申請公布號 CN111148357A 申請公布日 2021-06-01
分類號 H05K3/00 分類 其他類目不包含的電技術;
發(fā)明人 桑建新;胡立偉;儲飛翔 申請(專利權)人 上海冠眾光學科技有限公司
代理機構 上海碩力知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 代理人 董磊
地址 201400 上海市奉賢區(qū)奉金路200號2幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種層壓模具的制作方法,具有基材,包括:S100:形成光柵,制得預定圖案的光刻膠母板;S200:通過負相掩膜菲林技術制成具有預定圖案的菲林;S300:將菲林粘貼于光刻膠母版基底一面,并且將預定圖案對位套準;S400:在基材與光刻膠母版之間涂覆光輻射固化樹脂并排除空氣,用平行光對菲林進行輻射固化,剝離光刻膠母版后得到基板;S500:將基板表面未固化的樹脂去除,得到具有固化樹脂的層壓模具?;纳贤扛灿薪Y著劑?;w至少兩面具有固化樹脂。層壓模具的固化樹脂表面具有鍍膜。S500步驟后還包括對固化樹脂進行光照。